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產(chǎn)品資料

ALCATEL ADP122真空泵維修

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話,可以
產(chǎn)品名稱: ALCATEL ADP122真空泵維修
產(chǎn)品型號: 阿爾卡特ADP122
產(chǎn)品展商: 阿爾卡特真空泵維修
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡單介紹

ALCATEL ADP122真空泵維修 應(yīng)用: H 型:針對非常苛刻的工藝 P 型:針對中等工藝 LM 型:針對干凈的工藝 優(yōu)點: 體積小,占地面積小 使用成本低 非常高的性能(抽速以及極限壓力) 在苛刻環(huán)境下出色的運行效果 易于一體化 先進的監(jiān)控功能 (待機狀態(tài)可減少N2 的消耗量,斷電保護) SEMI S2-93 標(biāo)準(zhǔn)的兼容性(可選)


ALCATEL ADP122真空泵維修  的詳細介紹
阿爾卡特干泵的設(shè)計可將潛在沉積物*小化:
?? 通過減小氣體經(jīng)過的中間腔的容積
?? 通過在泵的每較好進行 N2 吹掃從而稀釋工藝氣體(P 和H 型)
?? 通過調(diào)節(jié)真空泵的溫度使其符合各個工藝,從而限制氣體在泵內(nèi)的冷凝(P 和H 型)
多級羅茨的工作原理:
ADP 真空泵由5 級羅茨組成。兩個轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時互不接觸。
ADP 122,共有2 個型號
ADP 122 P: 和外部的密閉機架一體化,包含:泵,監(jiān)控系統(tǒng),手動遙控器,水電氣設(shè)施接
口,流量計面板,OEM 接口和串口連接等。
ADP 122 LM: 簡化后的帶監(jiān)控系統(tǒng)的型號,用于干凈的工藝(load-lock 和transfer chamberpumping)。

蘇州曼特萊精密電子有限公司熱忱歡迎您的到來,歡迎來電垂詢ALCATEL ADP122真空泵維修價格。

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蘇公網(wǎng)安備 32058302001661號

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